CMP
型號：周邊耗材
可依據客戶端機台、製程，進行客製化的產品開發與量產。 產品種類括及Membrane、Pedestal film、Support film、Backing film、Hub pad、Roller 等。 CMP 周邊耗材產品已廣泛應用於半導體與光電產業，並成功協助客戶提升使用效能與節省成本。
CMP周邊產品
♦ Membrance MAH-300、MAB-300、MAS-300
♦ Pedestal film PF-200
♦ Backing film
♦ Support film SF-200
♦ Roller CK-2000、CK-3000
♦ Chuck pin
♦ Wafer holder
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