CMP
型号：周边耗材
可依据客户端机台、制程，进行客制化的产品开发与量产。 产品种类括及Membrane、Pedestal film、Support film、Backing film、Hub pad、Roller 等。 CMP 周边耗材产品已广泛应用于半导体与光电产业，并成功协助客户提升使用效能与节省成本。
CMP周边产品
♦ Membrance MAH-300、MAB-300、MAS-300
♦ Pedestal film PF-200
♦ Backing film
♦ Support film SF-200
♦ Roller CK-2000、CK-3000
♦ Chuck pin
♦ Wafer holder
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